Fraunhofer-Institut für Elektronische Nanosysteme ENAS

Fraunhofer-Verbund Mikroelektronik

Institutsgebäude Fraunhofer ENAS, Chemnitz © Fraunhofer-Gesellschaft

Über das Institut

Im Fokus des Fraunhofer-Instituts für Elektronische Nanosysteme ENAS stehen die Forschung und Entwicklung auf dem Gebiet der Smart Systems Integration unter Nutzung von Mikro- und Nanotechnologien.

Mit steigender Komplexität und Miniaturisierung innovativer Produkte wird die Systemintegration immer bedeutender für die wissenschaftliche und technische Entwicklung. Dabei spielen Multifunktionalität sowie die Implementierung verschiedener Bauteile, die ihrerseits aus verschiedenen Materialien bestehen, eine wesentliche Rolle. Die Integration von Nanomaterialien, Nanoeffekten sowie gedruckter Funktionalitäten führen zu neuen Herausforderungen und verlangen neue Ansätze hinsichtlich Zuverlässigkeit, Test, Design und Sicherheit. Das Fraunhofer ENAS greift diese Fragestellungen in seinen Geschäftsbereichen Mikro- und Nanosysteme, Green and wireless Systems sowie Mikro- und Nanoelektronik/Back-end of Line auf.

Abgeleitet vom Bedarf der Industrie fokussiert sich das Fraunhofer ENAS auf:

  • Präzisions-Silizium MEMS und NEMS (micro electro mechanical system und nano electro mechanical system)
  • neuartige Systemkonzepte mit innovativen Materialsystemen,
  • polymerbasierte Systeme, Nanokompositintegration
  • Systemdesign und -test
  • EMV-gerechte Entwurfsmethoden
  • das Waferlevelpackaging von MEMS und NEMS,
  • Metallisierungs- und Interconnectsysteme für die Mikro- und Nanoelektronik sowie die 3D-Integration
  • Einbeziehung von gedruckten Funktionalitäten in die Systemintegration
  • Zuverlässigkeit und Sicherheit von Mikro- und Nanosystemen.

Das Fraunhofer ENAS ist in sächsische, deutsche, europäische und weltweite Netzwerke mit Großunternehmen und kleinen und mittelständischen Unternehmen eingebunden. Besonders enge Kooperationen existieren mit dem Zentrum für Mikrotechnologien der TU Chemnitz, welches ebenfalls von Prof. Geßner geleitet wird, und den anderen Partnern im Smart Systems Campus Chemnitz.

Zahlen

  • Gründungsjahr: 2008
  • Mitarbeiter (2011): 102
  • Haushalt (2011): 8,41 Mio €

Adresse