Am 1. Januar 2018 wurde die Fraunhofer- Projektgruppe MESYS an der Brandenburgischen Technischen Universität Cottbus-Senftenberg (BTU) als neues Geschäftsfeld »Monolithisch integrierte Aktor- und Sensorsysteme« des Fraunhofer IPMS aufgenommen.

MESYS (Mesoskopische Aktoren und Systeme) wurde 2012 als Kooperation des Fraunhofer IPMS und der BTU ins Leben gerufen. Forschungsschwerpunkt sind neuartige elektrostatische Mikroaktoren, sogenannte nanoskopische elektrostatische Antriebe (nanoscopic electrostatic drives, NEDs). Die von MESYS entwickelte und patentierte neue Aktorklasse ist CMOS-kompatibel und löst fundamentale Probleme elektrostatischer Aktoren. Sie stellt eine Alternative zu piezoelektrischen MEMS-Biegewandlern dar. Damit steigt zukünftig die Leistungsfähigkeit dieser Mikrosysteme und es sind völlig neuartige Designlösungen denkbar.

Die Einsatzmöglichkeiten der NED-Technologie liegen vor allem im Mikrobereich: Sie reichen dort von Mikropumpen und Mikroventilen bis hin zu Positioniersystemen.

Diese Technologie konnte bereits für Mikrolautsprecher, die in Silizium integriert sind, praktisch umgesetzt werden. Damit eröffnen sich beispielsweise neue Einsatzmöglichkeiten in Hörgeräten, Hearables oder In-Ear-Kopfhörern. Die wissenschaftlichen Erfolge von MESYS sollen auch in Zukunft möglichst schnell in die industrielle Verwertung überführt werden. Die Wissenschaftlerinnen und Wissenschaftler erwarten mit dieser Technologie wirtschaftliche Impulse – insbesondere für die Lausitzregion.